绝缘涂层键合铜线的互联技术及工艺制程的改进与验证
针对绝缘涂层键合铜线 SSB 互联技术的难点,分析了影响绝缘涂层键合铜线 SSB 工艺的主要因素,包含芯片的焊盘结构与成分、键合夹具、键合劈刀、键合工艺、键合线材等。在此基础上,通过分析在不同保护气体中FAB 尺寸的稳定性,以及不同保护装置中 FAB 形状的稳定性,研究了防止绝缘涂层键合铜线键合焊盘损伤和“铝挤出”的技术。针对存在的难点制定出有效的解决方案,并确立绝缘涂层键合铜线以及SSB 互联键合的焊盘尺寸和允许线径的匹配要求。 通过应用工艺控制方法,可以解决和控制 SSB 互联工艺的技术难点。随着集成电路封装中绝缘涂层键合铜线工艺的快速发展,通过对设备、工艺、材料等各环节的优化和控制,绝缘涂层键合铜线 SSB 互联工艺将会得到更好的发展。...